南大光電擬募資6.35億元！投建ArF光刻膠、2000噸/年三氟化氮擴(kuò)建等項(xiàng)目
11月7日，南大光電發(fā)布公告，披露向特定對(duì)象發(fā)行股票預(yù)案。本次發(fā)行對(duì)象為不超過(guò)35名符合證監(jiān)會(huì)規(guī)定的特定對(duì)象，募集資金總額不超過(guò)63,500萬(wàn)元，扣除發(fā)行費(fèi)用后的凈額將用于光刻膠項(xiàng)目、擴(kuò)建2000噸/年三氟化氮生產(chǎn)裝置項(xiàng)目、補(bǔ)充流動(dòng)資金。
（一）光刻膠項(xiàng)目
本項(xiàng)目擬投資 66,000萬(wàn)元，進(jìn)行 ArF 光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化工作。項(xiàng)目目標(biāo)到 2021 年底，將在我國(guó)：1）首次建立 ArF 光刻膠產(chǎn)品大規(guī)模生產(chǎn)線，形成年產(chǎn) 25 噸 ArF（干式和浸沒(méi)式）光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)能力，產(chǎn)品性能滿足90nm-14nm 集成電路制造的要求。產(chǎn)品通過(guò) IC 芯片制造企業(yè)的使用認(rèn)證，實(shí)現(xiàn)批量銷售；2）建立國(guó)內(nèi)第一個(gè)專業(yè)用于 ArF 光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的檢測(cè)評(píng)估平臺(tái)。平臺(tái)配備 ArF 光刻機(jī)、涂膠顯影一體機(jī)、特征尺寸掃描電鏡、缺陷檢測(cè)和分析等檢測(cè)設(shè)備，滿足先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品和技術(shù)開(kāi)發(fā)的需求；3）建立一支具有國(guó)際水平的先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化隊(duì)伍。?
本項(xiàng)目的實(shí)施單位為子公司寧波南大光電材料有限公司，建設(shè)內(nèi)容包括“先進(jìn)光刻膠及高純配套材料的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”和“ArF 光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”。?
先進(jìn)光刻膠及高純配套材料
的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
建設(shè)內(nèi)容為建立光刻膠配套高純顯影液的規(guī)模化生產(chǎn)線，包括合成、純化、分析、灌裝等工藝的配套生產(chǎn)裝置及分析檢測(cè)設(shè)備；另外還將建設(shè)國(guó)內(nèi)首個(gè)先進(jìn)光刻膠分析測(cè)試中心，包含浸沒(méi)式光刻機(jī)、涂膠顯影一體機(jī)和 CD-SEM 等關(guān)鍵量測(cè)設(shè)備。?
項(xiàng)目完全達(dá)產(chǎn)后，將建成光刻膠研發(fā)中心、先進(jìn)光刻膠的分析測(cè)試中心，以及年產(chǎn) 350 噸的高純顯影液的生產(chǎn)線。ArF 光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化?
建設(shè)內(nèi)容為建立包含高等級(jí)超凈間在內(nèi)的 ArF 光刻膠生產(chǎn)線，具備 ArF 光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)能力；建立 ArF 光刻膠配套關(guān)鍵組分材料的生產(chǎn)能力，完善光刻膠原材料的供應(yīng)。?
項(xiàng)目完全達(dá)產(chǎn)后，將建成年產(chǎn) 5 噸 ArF 干式光刻膠的生產(chǎn)線、年產(chǎn) 20 噸ArF 浸沒(méi)式光刻膠的生產(chǎn)線以及年產(chǎn) 45 噸的光刻膠配套高純?cè)噭┑纳a(chǎn)線。
高端光刻膠長(zhǎng)期為國(guó)外企業(yè)壟斷的現(xiàn)狀，對(duì)我國(guó)芯片制造具有“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)，高端光刻膠領(lǐng)域亟待打破外資壟斷局面。本次募投項(xiàng)目實(shí)施完畢后，南大光電將建成 ArF 光刻膠（干式和浸沒(méi)式）及相關(guān)配套試劑生產(chǎn)線，產(chǎn)品性能滿足 90nm-14nm集成電路制造的要求，實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)高端光刻膠零的突破，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)先進(jìn)光刻膠及配套材料的進(jìn)口替代，有助于解決高端光刻材料“卡脖子”的問(wèn)題。
（二）擴(kuò)建 2000噸/年三氟化氮生產(chǎn)裝置項(xiàng)目?
本項(xiàng)目擬投資 30,000萬(wàn)元，擴(kuò)建 2000 噸/年三氟化氮生產(chǎn)裝置項(xiàng)目，包括：5#三氟化氮電解廠房、6#三氟化氮電解廠房、3#三氟化氮后處理廠房。項(xiàng)目的實(shí)施主體為山東飛源氣體有限公司，實(shí)施地點(diǎn)位于山東省淄博市高青化工產(chǎn)業(yè)園。項(xiàng)目計(jì)劃建設(shè)期為 2 年，即 2021 年至 2022 年。?
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2019 年 11 月，公司開(kāi)始布局含氟電子特氣業(yè)務(wù)，完成了對(duì)飛源氣體的收購(gòu)。中國(guó)廠商是含氟氣體生產(chǎn)的重要參與方，飛源氣體是全球三氟化氮和六氟化硫主要生產(chǎn)企業(yè)之一，在含氟氣體產(chǎn)品的制備、充裝、安全生產(chǎn)、質(zhì)量控制、安全運(yùn)輸?shù)确矫嬉讶〉昧巳嫱黄?，并通過(guò)為國(guó)際領(lǐng)先企業(yè)批量供貨，積累了豐富的市場(chǎng)和客戶服務(wù)經(jīng)驗(yàn)。飛源氣體下游客戶包括臺(tái)積電、京東方、華星光電、惠科股份、龍騰光電等知名客戶，擁有豐富的客戶渠道。收購(gòu)飛源氣體后，南大光電增加了含氟電子特氣業(yè)務(wù)板塊，對(duì)公司電子特種氣體業(yè)務(wù)的布局與發(fā)展具有重要的戰(zhàn)略價(jià)值。?
中國(guó)是下游產(chǎn)業(yè)半導(dǎo)體、顯示面板的消費(fèi)大國(guó)，未來(lái)幾年下游產(chǎn)業(yè)的跨越式增長(zhǎng)將積極消化國(guó)內(nèi)產(chǎn)能，大幅提升含氟電子特氣的需求，因此國(guó)產(chǎn)三氟化氮廠商面臨寶貴的發(fā)展機(jī)遇，三氟化氮生產(chǎn)向國(guó)內(nèi)轉(zhuǎn)移是大勢(shì)所趨。公司通過(guò)本次募投項(xiàng)目的實(shí)施，將擴(kuò)大三氟化氮?dú)怏w產(chǎn)能，從而深化含氟電子特氣領(lǐng)域投資布局，增強(qiáng)對(duì)公司集成電路客戶的服務(wù)能力，擴(kuò)大公司產(chǎn)品的市場(chǎng)份額，參與含氟電子特氣全球競(jìng)爭(zhēng)，保持公司在電子特氣領(lǐng)域的領(lǐng)先地位和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。?
