? 7月28日，宿州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)官網(wǎng)發(fā)布了宿州伊維特新材料有限公司半導(dǎo)體氣體、材料研發(fā)及國產(chǎn)化二期擴(kuò)建項目環(huán)境影響評價第一次公示。

據(jù)了解，該項目在宿州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)金安路原廠區(qū)擬新建六氟乙烷與八氟環(huán)丁烷純化、分裝裝置，設(shè)計產(chǎn)能500噸/年；混配氣，產(chǎn)能45000m3/年；電子級笑氣，產(chǎn)能6000t/a；可燃性及腐蝕性氣體620t/a、可燃性氣體及大宗氣體85750立方/年。項目總投資40590.14萬元。宿州伊維特新材料有限公司是浙江陶特容器科技有限公司的全資子公司，成立于2017年6月12日，注冊資本12000萬元。

六氟乙烷因其無毒無臭、高穩(wěn)定性被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造過程中，可作為蝕刻劑（ Dry Etch ）、化學(xué)氣相沉積（ Chemical Vapor Deposition ）后的清洗腔體。目前，六氟乙烷作為蝕刻劑及CVD腔體清洗劑，純度都要求達(dá)到99.995% 以上。六氟乙烷 ODP 值（臭氧層破壞潛能值）為零， GWP 值 （溫室效應(yīng)能力）為9200，可作為低溫制冷，另外少部分應(yīng)用在醫(yī)學(xué)手術(shù)中及其它新開發(fā)的領(lǐng)域。

八氟環(huán)丁烷，又名全氟環(huán)丁烷，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，無毒且無臭氧影響，溫室效應(yīng)低，是一種綠色環(huán)保型特種氣體，主要應(yīng)用于高壓絕緣、超大規(guī)模集成電路蝕刻劑、代替氯氟烴的混合制冷劑、氣溶膠、清洗劑（電子工業(yè)用）、噴霧劑、熱泵工作流體等。隨著蒙特利爾協(xié)議的實施和電子行業(yè)的飛速增長，八氟環(huán)丁烷的作用日趨重要，使用量也在逐年上升，是一種重要的特種含氟氣體。

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電子特氣是一個基本被國外巨頭壟斷的行業(yè)，目前國內(nèi)三氟化氮產(chǎn)能較多。業(yè)內(nèi)人士指出，晶圓廠所需特種氣體的品種很多，需求也很大，目前市場上還有80%份額品種在外資廠商手中，國內(nèi)特種氣體廠商應(yīng)該朝不同品種的氣體做突圍。
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